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BOE就是buffer oxide etch， B.O.E 緩沖蝕刻液 BOE是HF與NH4F依不同比例混合而成。6:1 BOE蝕刻即表示49%HF水溶液：40%NH4F水溶液=1：6（體積比）的成分混合而成。刻蝕速度約2nm每秒。HF為主要的蝕刻液，NH4F則作為緩沖劑使用。利用NH4F固定〔H+〕的濃度，使之保持一定的蝕刻率。HF會(huì)浸蝕玻璃及任何含硅石的物質(zhì)，對(duì)皮膚有強(qiáng)烈的腐蝕性，不小心被濺到，應(yīng)用大量水沖洗。

如果是大量貯存，下面要用木方墊起20公分左右，上部與房頂要留有50公分以上的空隙，以利于通風(fēng)散濕，垛與垛之間要留出過(guò)道。以利于檢查和通風(fēng)。

避免與皮膚和眼睛接觸。